otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計(jì) 紫外光譜儀

otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計(jì)FE-5000/5000S的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

產(chǎn)品型號(hào)：FE-5000/5000S
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間：2023-04-14
訪問(wèn) 量：1085

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話(huà)：

產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計(jì)FE-5000/5000S的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

特征

可在紫外-可見(jiàn)（300 至 800 nm）波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚
通過(guò) 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
支持通過(guò)可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性

測(cè)量項(xiàng)目

橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測(cè)量
光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析

測(cè)量對(duì)象

半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長(zhǎng)分散)
化合物半導(dǎo)體
Al_xGa_(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO₂，SiO₂，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(xiàn)(436nm)，h線(xiàn)(405nm)，i線(xiàn)(365nm)などの各波長(zhǎng)におけるn，k評(píng)価

在線(xiàn)咨詢(xún)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話(huà)：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：FE-300otsukael膜厚監(jiān)測(cè)儀膜厚測(cè)量?jī)x 紫外光譜儀
下一篇：SLS-6500HLotsukael積分光度計(jì)

返回列表

亚洲精品成人a v无码,www 国产xxx,午夜AV电影天堂网,欧美日韩一级品

otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計(jì) 紫外光譜儀

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話(huà)：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：

otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計(jì) 紫外光譜儀